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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Influence of Mask-Substrate Adhesion on Mask Patterning in Nano Plastic Forming and Etching (NPFE) Process 
著者
和文: HASSAN RASHIDI, 吉野 雅彦.  
英文: Hassan Rashidi, Masahiko Yoshino.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. The 14th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2010) 
巻, 号, ページ         pp. 226-231
出版年月 2010年11月 
出版者
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会議名称
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開催地
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