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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスプラズマによるDLC成膜とその特性評価 
英文: 
著者
和文: 大竹 尚登.  
英文: NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:SPUTTERING&PLASMA PROCESSES 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 26    No. 1    pp. 31-42
出版年月 2011年3月 
出版者
和文:一般社団法人日本真空協会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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