高周波低圧プラズマCVDにおける発光分光計測

論文・著書情報

タイトル

和文:	高周波低圧プラズマCVDにおける発光分光計測
英文:	Optical Emission Spectroscopy Measurement of High-frequency Low-pressure at Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	湯地敏史, 清田佑一, 川野美延, 中林健一, 田代真一, 田中学, 赤塚洋.
英文:	Toshifumi Yuji, 清田佑一, 川野美延, 中林健一, 田代真一, 田中学, HIROSHI AKATSUKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成２３年電気学会全国大会講演論文集
英文:	The 2011 Annual Meeting Record, I.E.E. Japan

巻, 号, ページ

# 1 p. 241

出版年月

2011年3月

出版者

和文:	社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	平成２３年電気学会全国大会
英文:	The 2011 Annual Meeting, I.E.E. Japan

開催地

和文:	大阪大学豊中キャンパス
英文:	Osaka University, Toyonaka Campus, Osaka