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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Scaled silicon NEM hybrid devices 
著者
和文: 小田 俊理.  
英文: S. Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Nano-Electro-Mechanical Devices for Integrated Sensing and Switching; Satellite workshop to ESSDERC/ESSCIRC 2010 
開催地
和文: 
英文:Seville 

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