Laser Annealing of Silicon Nanocrystals Thin-films Prepared by VHF Plasma Deposition System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Laser Annealing of Silicon Nanocrystals Thin-films Prepared by VHF Plasma Deposition System

著者

和文:	中峯嘉文, Michiel van der Zwan, Johan van der Cingel, 小寺哲夫, 内田建, Ryoichi Ishihara, 小田俊理.
英文:	Y. Nakamine, Michiel van der Zwan, Johan van der Cingel, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, Ryoichi Ishihara, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

A9.5

出版年月

2011年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Materials Research Society

開催地

和文:
英文:	San Francisco