Numerical and Experimental Analysis of Intermittent Line-and-Space Patterns in Thermal Nanoimprint

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical and Experimental Analysis of Intermittent Line-and-Space Patterns in Thermal Nanoimprint

著者

和文:	大西有希, Y.Hirai, 高木秀樹, M.Takahashi, T.Tanabe, R.Maeda, Y.Iriye.
英文:	Y.Onishi, Y.Hirai, 高木秀樹, M.Takahashi, T.Tanabe, R.Maeda, Y.Iriye.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 47 No. 6 pp. 5145-5150

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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