粘弾性体材料モデルを用いた熱ナノインプリントの有限要素解析手法 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	粘弾性体材料モデルを用いた熱ナノインプリントの有限要素解析手法
英文:

著者

和文:	大西有希, 高木秀樹, 高橋正春, 前田龍太郎, 入江康郎, 岩崎拓也.
英文:	YUKI ONISHI, 高木秀樹, 高橋正春, 前田龍太郎, 入江康郎, 岩崎拓也.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第24回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
英文:

開催地

和文:
英文:

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