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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A newly developed long range positioning table system with a sub-nanometer resolution 
著者
和文: 新野 秀憲, 吉岡 勇人, 澤野 宏.  
英文: H.Shinno, H.Yoshioka, H.Sawano.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:CIRP Annals - Manufacturing Technology 
巻, 号, ページ Vol. 60    No. 1    pp. 403-406
出版年月 2011年6月1日 
出版者
和文: 
英文:Elsevier 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.cirp.2011.03.027

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