Rare earth oxide capping effect on La2O3 gate dielectrics toward EOT of 0.5nm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare earth oxide capping effect on La2O3 gate dielectrics toward EOT of 0.5nm

著者

和文:	幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology(IWDTF-11)

開催地

和文:
英文: