Analysis and applications of nanostructures created by stencil lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:	Analysis and applications of nanostructures created by stencil lithography
英文:	Analysis and applications of nanostructures created by stencil lithography

著者

和文:	O. VAZQUEZ-MENA, 三宮工, M. TOSUN, G. VILLANUEVA, J. VOROS, J. BRUGGER.
英文:	O. VAZQUEZ-MENA, Takumi Sannomiya, M. TOSUN, G. VILLANUEVA, J. VOROS, J. BRUGGER.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Transducers 2009
英文:	15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Transducers 2009

巻, 号, ページ

pp. 465-8

出版年月

2009年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI