ダメージフリーマルチガスプラズ マジェットを用いた表面親水 化および酸化膜除去

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた表面親水化および酸化膜除去
英文:	Hydrophilization and Oxide Removal using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet

著者

和文:	柴田萌, 平位英之, 高松利寛, 佐々木亮太, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Moe Shibata, Hideyuki HIrai, Toshihiro Takamatsu, Ryota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Akitoshi Okino.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

PST-11-035

出版年月

2011年5月28日

出版者

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会議名称

和文:	電気学会プラズマ研究会
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開催地

和文:	富山
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