Electrical Property of Nano-Crystalline Silicon Thin-Films Transistors Prepared by Very High Frequency Plasma Deposition System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Property of Nano-Crystalline Silicon Thin-Films Transistors Prepared by Very High Frequency Plasma Deposition System

著者

和文:	中峯嘉文, Mohammad R. T. Mofrad, Michiel van der Zwan, Johan van der Cingel, 小寺哲夫, 内田建, 波多野睦子, Ryoichi Ishihara, 小田俊理.
英文:	Yoshifumi Nakamine, Mohammad R. T. Mofrad, Michiel van der Zwan, Johan van der Cingel, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, Mutsuko Hatano, Ryoichi Ishihara, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. 5-6

出版年月

2011年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop

開催地

和文:
英文:	Kyoto