発光分光計測を用いたマイクロ波放電窒素プラズマのN2+の振動，回転温度評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	発光分光計測を用いたマイクロ波放電窒素プラズマのN2+の振動，回転温度評価
英文:	Estimation of Vibrational and Rotational Temperatures of N2+ of Microwave Discharge Nitrogen Plasma by Optical Emission Spectroscopy Measurement

著者

和文:	川野泰和, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Hirokazu Kawano, Atsushi Nezu, HARUAKI MATSUURA, HIROSHI AKATSUKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:	The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan

巻, 号, ページ

PST-11-036~045 pp. 15-18

出版年月

2011年8月7日

出版者

和文:	社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	電気学会プラズマ研究会
英文:	Technical Meeting on Plasma Science and Technology

開催地

和文:	大阪市
英文:	Osaka