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論文・著書情報


タイトル
和文:DLC膜の産業応用 
英文: 
著者
和文: 大竹尚登.  
英文: NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムプログラム 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 17
出版年月 2011年9月30日 
出版者
和文:電気学会・日本機械学会・応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 
英文: 
開催地
和文: 
英文:船堀 

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