Application of Supercritical Carbon Dioxide Emulsion in Fabrication of Micro-Components for MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of Supercritical Carbon Dioxide Emulsion in Fabrication of Micro-Components for MEMS

著者

和文:	TSO-FU MARK CHANG, 石山千恵美, 曽根正人.
英文:	Tso-Fu Mark Chang, Chiemi Ishiyama, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

巻, 号, ページ

p. 19

出版年月

2011年10月3日

出版者

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

会議名称

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

開催地

和文:	Tayui, Taiwan
英文: