レーザアニーリングによるシリコンナノ結晶薄膜の電気特性への影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザアニーリングによるシリコンナノ結晶薄膜の電気特性への影響
英文:

著者

和文:	中峯嘉文, Mohammad Mofrad, Michiel Van Der Zwan, Johan Van Der Cingel, 小寺哲夫, 内田建, 石原良一, 小田俊理.
英文:	Yoshifumi Nakamine, Mohammad Mofrad, Michiel Van Der Zwan, Johan Van Der Cingel, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, 石原良一, SHUNRI ODA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 2p-ZG-2

出版年月

2011年8月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第72回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	山形市
英文: