ＡＦＭプローブを用いた三次元形状計測システム

論文・著書情報

タイトル

和文:	ＡＦＭプローブを用いた三次元形状計測システム
英文:	Three-Dimensional Profile Measuring System with AFM Probe

著者

和文:	綾田翔, 澤野宏, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Sho AYADA, Hiroshi SAWANO, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（Ｃ編）
英文:	Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers(JSME)

巻, 号, ページ

Vol. 77 No. 782 pp. 3597-3607

出版年月

2011年10月25日

出版者

和文:	日本機械学会
英文:	The Japan Society of Mechanical Engineers(JSME)

会議名称

和文:
英文:

開催地

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英文:

DOI

受賞情報

平成24年度　工作機械技術振興賞「論文賞」