ダメージフリーマルチガスプラズ マジェットを用いた銅酸化膜 の高速還元処理

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた銅酸化膜の高速還元処理
英文:

著者

和文:	柴田萌, 高松利寛, 佐々木良太, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Moe Shibata, Toshihiro Takamatsu, ryouta sasaki, hidekadzu miyahara, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

P18

出版年月

2011年10月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文:

アブストラクト

アブスト№：P18 発表年月日：2011/10/22 発表種別：ショートプレゼンテーション、　ポスター発表