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論文・著書情報


タイトル
和文:幅広ギャップを有するBCB埋め込み温度無依存Siスロット導波路波長フィルタ 
英文:Wide-gap Athermal Si-Slot Wavelength Filters Embedded with Benzocyclobutene 
著者
和文: 小田 学, 渥美 裕樹, 姜 晙炫, 西山 伸彦, 荒井 滋久.  
英文: Manabu ODA, Yuki ATSUMI, JoonHyun KANG, Nobuhiko NISHIYAMA, Shigehisa ARAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年11月25日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:シリコン・フォトニクス研究会 
英文:TECHUNICAL MEETING ON SILICON PHOTONICS 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
アブストラクト Wide gap athermal Si-Slot wavelength filters embedded with benzocyclobutene were demonstrated. Wide gap structure provides higher fabrication tolerance. The temperature dependences of the selected wavelength were obtained to be -0.9 pm/K for the Mach-Zhender Interferometer and -7 pm/K for the ring resonator.

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