静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発
英文:	An Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Fibers for Curved Surface

著者

和文:	澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Kenji SAWAI, wataru takarada, TAKESHI KIKUTANI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2011年度精密工学会春季大会論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp.877-878

出版年月

2011年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2011年度精密工学会春季大会
英文:

開催地

和文:
英文: