微小導体静電マニピュレーションの信頼性向上のための操作条件最適化

論文・著書情報

タイトル

和文:	微小導体静電マニピュレーションの信頼性向上のための操作条件最適化
英文:	Optimization of operational design for electrostatic manipulation of a conductive micro-particle with high reliability

著者

和文:	澤井賢司, 園田雅樹, 齋藤滋規.
英文:	Kenji SAWAI, Masaki SONODA, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2009年度精密工学会春季大会論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp.759-760

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2009年度精密工学会春季大会
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開催地

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