Effect of Oxygen Flow Rate on the Electrical Properties of a Transparent SiON/Ag/SiON Multilayer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Oxygen Flow Rate on the Electrical Properties of a Transparent SiON/Ag/SiON Multilayer

著者

和文:	Chung-Ki Cho, 金聖雄, 細野秀雄, Han-Ki Kim.
英文:	Chung-Ki Cho, SungWng Kim, H. Hosono, Han-Ki Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochemical and Solid-State Letters

巻, 号, ページ

Vol. 15 pp. H23-H26

出版年月

2012年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI