Effects of low-temperature ozone annealing on operation characteristics of amorphous In-Ga-Zn-O thin-film transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of low-temperature ozone annealing on operation characteristics of amorphous In-Ga-Zn-O thin-film transistors

著者

和文:	井手啓介, 菊地優友, 野村研二, 神谷利夫, 細野秀雄.
英文:	Keisuke Ide, Yutomo Kikuchi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Hideo Hosono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 520 pp. 3787-3790

出版年月

2012年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI