Cleaning Process for Semiconductor Equipment Process on Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium DC Pulse Plasma Jet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Cleaning Process for Semiconductor Equipment Process on Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium DC Pulse Plasma Jet

著者

和文:	湯地敏史, Y. Kiyota, Y. Okamura, H. Kinoshita, Mungkung Narong, 須崎嘉文, T. Hamada, 赤塚洋.
英文:	T. Yuji, Y. Kiyota, Y. Okamura, H. Kinoshita, N. Mungkung, Y. Suzaki, T. Hamada, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011

巻, 号, ページ

pp. 51-54

出版年月

2011年9月21日

出版者

和文:
英文:	Dept. Electrical Technology Education King Mongkut's University of Technology Thonburi (KMUTT)

会議名称

和文:
英文:	The Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011

開催地

和文:	ノンハイ
英文:	Nongkhai

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