Photo-Chemical Effects for Low Temperature Si Epitaxy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photo-Chemical Effects for Low Temperature Si Epitaxy

著者

和文:	山崎辰也, 杉野林志, 伊藤隆司, 石川元.
英文:	Tatsuya Yamazaki, Rinshi Sugino, Takashi Ito, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of 1986 Int. Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 213-214

出版年月

1986年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of 1986 Int. Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo