低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究
英文:	Spectroscopic Study on Non-equilibrium of Low-pressure Microwave-Discharge Hydrogen Plasma

著者

和文:	清水良浩, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Yoshihiro Shimizu, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料プラズマ研究会
英文:	The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Terchnology, IEE Japan

巻, 号, ページ

PST-12 001~012 pp. 19-24

出版年月

2012年5月10日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	電気学会プラズマ研究会
英文:	Technical Meeting on Plasma Science and Terchnology, IEE Japan

開催地

和文:	豊橋
英文:	Toyohashi

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