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論文・著書情報


タイトル
和文:Effect of substrate on film hardness measurements of nanometer thick amorphous carbon films 
英文:Effect of substrate on film hardness measurements of nanometer thick amorphous carbon films 
著者
和文: Hiroki Akasaka, Hiroki Ito, Masayuki Nakano, Shigeo Ohshio, Hidetoshi Saitoh.  
英文: Hiroki Akasaka, Hiroki Ito, Masayuki Nakano, Shigeo Ohshio, Hidetoshi Saitoh.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:J. Solid Mech. Mater. Eng. 
英文:J. Solid Mech. Mater. Eng. 
巻, 号, ページ Vol. 3        pp. 1233-1237
出版年月 2009年 
出版者
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会議名称
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開催地
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