Effects of Chemical Components on the Bending Properties of Micro-sized Cantilevers in SU-8

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Chemical Components on the Bending Properties of Micro-sized Cantilevers in SU-8

著者

和文:	松崎純平, 石山千恵美, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Junpei Matsuzaki, Chiemi Ishiyama, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

巻, 号, ページ

pp. P067-276

出版年月

2012年9月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

開催地

和文:
英文:	Toulouse