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論文・著書情報


タイトル
和文:InPエッチング異方性による微細InGaAsチャネルMOSFET 
英文: 
著者
和文: 米内義晴, 金澤徹, 池田俊介, 宮本恭幸.  
英文: Yosiharu Yonai, Toru Kanazawa, Shunsuke Ikeda, YASUYUKI MIYAMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年3月17日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:応用物理学会 2012年度春季大会 
英文: 
開催地
和文: 
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