PREPARATION OF AL2O3-EMBBEDEDSILICON NANOWIRE ARRAYS USINGATOMIC LAYER DEPOSITION

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	PREPARATION OF AL2O3-EMBBEDEDSILICON NANOWIRE ARRAYS USINGATOMIC LAYER DEPOSITION

著者

和文:	加藤慎也, 渡邊裕也, 黒川康良, 山田明.
英文:	Shinya Kato, Yuya Watanabe, Yasuyoshi Kurokawa, Akira Yamada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年11月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21)

開催地

和文:
英文:	Fukuoka