Growth of trumpet-like protrusions during the CVD of silicon carbide films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of trumpet-like protrusions during the CVD of silicon carbide films

著者

和文:	梶川裕矢, H. Ono, S. Noda, H. Komiyama.
英文:	Y. Kajikawa, H. Ono, S. Noda, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition

巻, 号, ページ

Vol. 8 Issue 2 pp. 52-55

出版年月

2002年2月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: