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論文・著書情報


タイトル
和文:斜方入射スパッタ粒子を利用して作製した高異方性磁界を有するFeCoB膜, 
英文:FeCoB films with high in-plane uniaxial magnetic anisotropy field prepared using oblique incidence of sputtered particles 
著者
和文: 中川茂樹.  
英文: SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本磁気学会誌（まぐね） 
英文:Magnetics Japan 
巻, 号, ページ Vol. 7    No. 1    pp. 26-32
出版年月 2012年2月 
出版者
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会議名称
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開催地
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