A Valveless MEMS Pump Utilizing a Thin Film Permanent Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Valveless MEMS Pump Utilizing a Thin Film Permanent Magnet

著者

和文:	ZHI CHAO, 進士忠彦, Minoru Uehara.
英文:	Chao Zhi, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 523-524 pp. 551-556

出版年月

2012年11月10日

出版者

和文:
英文:	Trans Tech Publications

会議名称

和文:
英文:	14th International Conference on Prescision Engineering

開催地

和文:
英文:	Awaji-island

DOI