Device Performance and Reliability of Fully Developed SOI Transistors and Low-Temperature Poly-Si TFTs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Device Performance and Reliability of Fully Developed SOI Transistors and Low-Temperature Poly-Si TFTs

著者

和文:	波多野睦子.
英文:	Mutsuko Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

333-338

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2007 Int. Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors

開催地

和文:
英文:	Barga