Relationship between fluence gradient and lateral grain growth in spatially controlled excimer laser crystallization of amorphous silicon films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Relationship between fluence gradient and lateral grain growth in spatially controlled excimer laser crystallization of amorphous silicon films

著者

和文:	S. Moon, 波多野睦子, K. Suzuki, C. Grigoropoulos.
英文:	S. Moon, M. Hatano, K. Suzuki, C. Grigoropoulos.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

88 4994-4999

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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