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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Low damage etchinG.f GaInAsP/InP and GaAlAs/GaAs by reactive ion beam etch and removal of residual damages 
著者
和文: T. Tadokoro, 小山 二三夫, 伊賀 健一.  
英文: T. Tadokoro, F. Koyama, K. Iga.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ P-13        pp. 147-150
出版年月 1989年12月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文:APCT'89 
開催地
和文: 
英文: 

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