A new spray wet etch process for micro-cavity GaAs/GaAlAs surface emitting lasers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A new spray wet etch process for micro-cavity GaAs/GaAlAs surface emitting lasers

著者

和文:	H. Tanobe, T. Tamanuki, T. Uchida, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	H. Tanobe, T. Tamanuki, T. Uchida, F. Koyama, K. Iga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

1991年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd Microoptics Conf., MOC'91

開催地

和文:
英文:	Yokohama