In situ optical thickness monitoring in Si/SiO2multi-layer deposition for GaInAsP/InP surface emitting laser reflectors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In situ optical thickness monitoring in Si/SiO2multi-layer deposition for GaInAsP/InP surface emitting laser reflectors

著者

和文:	M. Oshikiri, 小山二三夫, 伊賀健一.
英文:	M. Oshikiri, F. Koyama, K. Iga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

SDL14.5

出版年月

1991年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1991 Annual Meeting, LEOS'91

開催地

和文:
英文:	San Jose