Effects of aluminum doping on lanthanum oxide gate dielectric films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of aluminum doping on lanthanum oxide gate dielectric films

著者

和文:	H Wong, B.L. Yang, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋.
英文:	H Wong, B.L. Yang, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Vacuum

巻, 号, ページ

Vol. 86 No. 7 pp. 929-932

出版年月

2012年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI