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論文・著書情報
タイトル
和文:
低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布の研究
英文:
A Study on Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma
著者
和文:
今野潤哉
,
根津篤
,
松浦治明
,
赤塚洋
.
英文:
Junya Konno
,
Atsushi Nezu
,
Haruaki Matsuura
,
Hiroshi Akatsuka
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
第30回プラズマプロセシング研究会 - プロシーディングス
英文:
Proceedings - 30th Symposium on Plasma Processing
巻, 号, ページ
pp. 151-152
出版年月
2013年1月21日
出版者
和文:
公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
英文:
Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics
会議名称
和文:
第30回プラズマプロセシング研究会
英文:
30th Symposium on Plasma Processing
開催地
和文:
浜松
英文:
Hamamatsu
©2007
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