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論文・著書情報


タイトル
和文:低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布の研究 
英文:A Study on Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma 
著者
和文: 今野潤哉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.  
英文: Junya Konno, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:第30回プラズマプロセシング研究会 - プロシーディングス 
英文:Proceedings - 30th Symposium on Plasma Processing 
巻, 号, ページ         pp. 151-152
出版年月 2013年1月21日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 
英文:Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第30回プラズマプロセシング研究会 
英文:30th Symposium on Plasma Processing 
開催地
和文:浜松 
英文:Hamamatsu 

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