Channel Length Scaling and Surface Nitridation of Silicon Nanocrystals for High Performance Electron Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Channel Length Scaling and Surface Nitridation of Silicon Nanocrystals for High Performance Electron Devices

著者

和文:	小田俊理, SusomaJannatul, 中峯嘉文, 小寺哲夫.
英文:	SHUNRI ODA, Jannatul Susoma, Yoshifumi Nakamine, Tetsuo Kodera.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 52 pp. 04CH08 (4 pages)

出版年月

2013年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI