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論文・著書情報


タイトル
和文:Si ナノワイヤ FETの電気特性に対するアニーリング処理の影響 
英文: 
著者
和文: 野口智弘, 小寺哲夫, Marolop Simanullang, Surawijaya Akhmadi, 宇佐美浩一, 小田俊理.  
英文: Tomohiro Noguchi, Tetsuo Kodera, Marolop Simanullang, Akhmadi Surawajaya, Koichi Usami, Shunri Oda.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:秋季 第73回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:愛媛県松山市 
英文: 

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