Nitrogen incorporated La-silicate gate dielectric with high scalability

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nitrogen incorporated La-silicate gate dielectric with high scalability

著者

和文:	川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	[G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists

開催地

和文:	東京
英文: