Development of Self-walking Small X-Y Stage and Manipulation Tool with Acoustic Force Display

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Self-walking Small X-Y Stage and Manipulation Tool with Acoustic Force Display

著者

和文:	Hiroyuki Chiba, Youhei Itami, 平田慎之介, 青山尚之.
英文:	Hiroyuki Chiba, Youhei Itami, Shinnosuke Hirata, Hisayuki Aoyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1E7-1958

出版年月

2009年11月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ASPEN 2009 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文:	Kitakyushu