Glow discharge optical emission spectroscopic study of Cu film fabricated by electrodepostion using supercritical CO2 emulsified electrolyte

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Glow discharge optical emission spectroscopic study of Cu film fabricated by electrodepostion using supercritical CO2 emulsified electrolyte

著者

和文:	木梨光, 清水徹也, 名越貴志, TSO-FU MARK CHANG, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Hikaru Kinashi, Tetsuya Shimizu, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	TACT2013

巻, 号, ページ

出版年月

2013年10月5日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	TACT2013, International Thin Films Conference

開催地

和文:	The grand hotel, Taipei
英文: