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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスCO2レーザを用いたガラス微細穴形成技術 
英文: 
著者
和文: 中村玲王奈, 桂智毅, 藤川周一, 真柄卓司, 稲川貴大, 青野祐子, 戸倉和.  
英文: 中村玲王奈, 桂智毅, 藤川周一, 真柄卓司, Takahiro Inagawa, Yuko Aono, HITOSHI TOKURA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文:2013年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
巻, 号, ページ         pp. 587-588
出版年月 2013年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2013年度精密工学会春季大会学術講演会 
開催地
和文:東京 
英文: 

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