Effect of substrate temperature on the magnetic properties and internal stresses of CoPt/AlN multilayer deposited by dc magnetron sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:	Effect of substrate temperature on the magnetic properties and internal stresses of CoPt/AlN multilayer deposited by dc magnetron sputtering
英文:	Effect of substrate temperature on the magnetic properties and internal stresses of CoPt/AlN multilayer deposited by dc magnetron sputtering

著者

和文:	H. Y. An, S. Takada, T. Sannomiya, S. Muraishi, J. Shi, Y. Nakamura.
英文:	H. Y. An, S. Takada, T. Sannomiya, S. Muraishi, J. Shi, Y. Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Applied Physics a-Materials Science & Processing
英文:	Applied Physics a-Materials Science & Processing

巻, 号, ページ

Vol. 113 pp. 31-35

出版年月

2013年

出版者

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会議名称

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開催地

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