Magnetic Attraction Force-preloaded Aerostatic Guideway for High Speed Nano Positioning System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Magnetic Attraction Force-preloaded Aerostatic Guideway for High Speed Nano Positioning System

著者

和文:	津村拓実, 吉岡勇人, 新野秀憲, 澤野宏.
英文:	Takumi Tsumura, Hayato Yoshioka, hidenori shinno, sawano hiroshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century

巻, 号, ページ

出版年月

2013年11月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century

開催地

和文:	松島，宮城
英文:	Matsushima, Miyagi