環境調和型ゼロエミッション次世代半導体配線形成方法の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	環境調和型ゼロエミッション次世代半導体配線形成方法の開発
英文:	Development of next generation environmental benign integrated circuit wiring technology toward zero-emission

著者

和文:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 清水哲也.
英文:	Masato Sone, Mark Chang, unknown unknown.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	化学と工業
英文:	Kagaku Kogyo

巻, 号, ページ

Vol. 65 No. 1 pp. 22-27

出版年月

2014年1月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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