Fundamental Study on Thermal Nanoimprint Process for Oxide-channel Thin Film Transistor Fabrication

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fundamental Study on Thermal Nanoimprint Process for Oxide-channel Thin Film Transistor Fabrication

著者

和文:	徳光永輔, 佐藤慶, 羽賀健一.
英文:	Eisuke Tokumitsu, Kei Sato, Ken-Ichi Haga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年10月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Nanoinprint and Nanoprint Technology(the 12th International Conference on NNT 2013)

開催地

和文:
英文:	Barcerona